世界首个集材料生长、器件制取、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空网络综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。这个实验站相等于在太空建设了一个仅有真空的纳米器件研发平台。科研人员在建设中的纳米真空网络综合实验站调试设备正在建设中的这个纳米实验站是目前世界上仅次于的真空网络科研装置。

其总体方案是：用总长近500米的超高真空管道，将上百台用作材料生长、器件制取、测试分析的大型仪器设备网络，构建样品在有所不同设备之间传输时其表面不被水解、沾污，不被外界大气环境所毁坏。中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、纳米真空网络实验站常务副总指挥丁孙安说道，实验站通过超高空间辨别、时间辨别、能量辨别、质量辨别等的高端能力仪器设备，对物质的“本征性质”展开研究，从而构建量子材料的设计、制取和密切相关，后摩尔时代器件加工和测试分析，同时积极开展新材料、新工艺、新的结构和新功能的研发和研究，以及构成第三代半导体工艺包在。“这个实验装置是在类似于太空的全真空环境下的纳米器件研发平台，相等于把现有的加工设备统一搬到到太空。

”丁孙安说道。纳米真空网络实验站是相结合中科院苏州纳米所，牵头清华大学薛其坤院士团队、中科院沈阳化学物理研究所包信和院士团队建设的。

一期建设由中科院、江苏省、苏州市和苏州工业园区资源共享，预计2018年竣工，建设经费3.2亿元。一期竣工后将相连30多台设备，构成100米的真空管道。

整个实验站的总预算是15亿元。苏州工业园区是全球纳米领域具备代表性的八大产业区域之一。

中科院纳米所所长杨辉说道，在此建设纳米真空网络实验站，是力图通过真空条件下的网络构建和若干重大项目检验，突破现有仪器设备的功能容许，构建材料制取、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应，为科研和战略性新兴产业发展获取先进设备的、开放性的平台。

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